超純水設備1套 Super DI Water system
功能:可降低純水中雜質含量,Purify the water
水質:電阻 Resistance>10MΩ
產能:4噸/Hr,目前實際用量1噸/Hr
|
超纯水制造设备 |
|
空氣淨化設備1套 Filtration
system for hot blower air
功能:淨化室外空氣雜質、粉
塵后，引用至制程使用
Function:Ensure process air is clean
RO純水制造設備1套 RO Water system
功能:可降低水中雜質含量,Purify the water
水質:電阻 Resistance>0.03MΩ
產能:8噸/Hr,目前實際用量2噸/Hr
|
RO纯水制造设备 |
|
 |
空气净化设备 |
|
